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一 適用範囲
炭化ケイ素ウエハーの研磨に使用される
二 製品特徴
1.粒子徑の均一性や分散性に優れる。
2．ダメージフリーの研磨加工面が得られる。
3．混合した後のスラリーpHが中性で、取り扱いしやすい。
4.たかい切削率が得られる、良品率が高い。
三 主要技術指標
化學成分
コンテンツ
酸化セリウム
5－8％
脫イオン水
92－95％
その他
≦1％
化學や物理的な指標
基準値
D50
80－120nm
PH値
2-3
色
赤い
備考：上記データは顧客様の要求によって調整できる。
四 包裝?荷姿
5㎏/bucket 20㎏/bucket
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